国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“晶圆边缘疏水表面处理方法”的专利,公开号CN121548239A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆边缘疏水表面处理方法,在键合界面外围边沿的环形区域进行疏水处理,形成疏水环以阻挡清洗液渗入,同时保持键合中心区域的亲水性以确保粘附强度;本发明在晶圆键合后清洗晶圆表面,由于边缘有疏水层阻挡液体渗透,清洗液不会渗入键合界面导致分层,清洗液在芯片边缘的渗透现象明显减少,处理后的芯片在机械稳定性、电气性能和耐久性方面均表现出显著提升。
天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2095次,专利信息2708条,此外企业还拥有行政许可397个。
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